PMUT是基于压电能量转换的一种超声波换能器，通常由压电薄/厚膜、上下电极、支撑层以及空腔组成;通过压电膜驱动整个振膜区域振动，并向外辐射超声波。
PMUT特点：
声阻抗低-易与气体和液体进行耦合
尺寸小-1mm~15mm可调
可批量化制备-成本低、一致性好
易与IC集成
