MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS压电微镜采用压电驱动，具有体积小、重量轻、低电压驱动、功耗低等优点。在激光雷达、生物医疗、微型投影等有广泛的应用需求。
江苏英特神斯科技有限公司近期已研发出MEMS压电微镜系列产品，可以实现从版图设计到工艺流片的完整工艺流程，并提供从单个微镜芯片到微镜阵列的开发。
