EFEM参数：
1/2/3/4个LoadPort or SmifPod
适用150mm-300mm晶圆
Wafer厚度300~1000um，Warpage≤1mm
SCR双臂机器人
超薄真空手臂or伯努利手臂or边缘夹持手臂
真空or边缘夹持Aligner
OCR（IOSS），高清读取WaferID
配置E84模块，支持天车取放料
RFID读取
EFU & Ionizer
EAP对接，实现数据上传
