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AMHS软件系统
AMHS软件系统
产品说明：

天车管理系统由MCS/OHTC系统等组成，实现生产物料快速、准确对接到目标生产设备和制程工艺设备，组成并实现一个智能化、高效率的半导体工厂，同时也确保了生产系统的信息安全。