AMHS产品组合
AMHS产品组合
产品说明:

AMHS(Automatic Material Handling System)自动物料搬运系统,又名天车系统,是半导体生产线上进行物料搬运的软硬件一体的设备和系统。AMHS产品组件包含传送硬件设备(OHT、Lifter等)、存储硬件设备(Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB、OHCV、OHB)、净化硬件设备(TLP、OPS、FPS等)和一体化软件系统。