光罩盒货架
光罩盒货架
产品说明:

方舟五号 / 光罩盒货架,旨在精准定位光罩盒,实时显示光罩盒信息和关联wafer Lot信息。通过该系统,可以实时获取光罩盒的状态和位置信息,进行进出库管理,节约大量时间查找光罩盒,避免操作错误。


工作原理:

光罩盒放入货位后,触发行程开关。芯享二号板检测到开关触发后,发送指令给建永模块,启动天线模组读取光罩盒上的卡片式标签。读取到的标签信息返回给芯享二号板,再次转发到光罩盒管理系统。光罩盒管理系统可查询每个货位信息,进行光罩盒出库操作。