星云氮气导入系统 / Nebula N² Purge System，应用于先进制程的半导体工厂，有效解决散布在存储环境（FOUP）内的污染物。
产品特点：
薄型设计，减少影响Fab走道高度；
翻盖设计，提高人员维护便利性，降低设备安装维修安全风险；
无后台命令，预设强制填充，避免产品损失；
预置前清洁与定期自动喷嘴清洁，避免Particle掉落喷嘴，保持喷嘴洁净度。
